“纳米集成技术与纳米制造综合研究平台”是国家发展和改革委员会批准中国科学院“十二五” 科技基础设施纳米科技与分子科学前沿交叉综合研究保障条件建设项目的子项目。 项目建设地点位于北京市海淀区中关村北一条 11 号国家纳米科学中心北侧院内，东临中科院电子研究所，西临规划中科院北一街，南临国家纳米科学 中心科研楼，北临中关村北二条。 建设规模总建筑面积 33915 平方米，其中单体建筑面积 30815 平方米。